CENTRÁLNÍ DATABÁZE NABÍZENÝCH ODBORNÝCH ČINNOSTÍ
PRACOVIŠŤ VYSOKÉHO UČENÍ TECHNICKÉHO V BRNĚ

Fakulta:
FEKT
Ústav:
Ústav mikroelektroniky
Kontaktní údaje (tel., fax, e-mail, www):
vedoucí ústavu: prof. Ing. Vladislav Musil, CSc.
tel: +420 54114 6103; sekretariát: +420 54114 6159 fax: +420 54114 6298
e-mail: musil@feec.vutbr.cz
vedoucí laboratoře: doc. Ing. Jaromír Hubálek, Ph.D.
tel: +420 54114 6195; sekretariát: +420 54114 6194 fax: +420 54114 6298
e-mail: hubalek@feec.vutbr.cz
Poštovní adresa:
Ústav mikroelektroniky
Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Technická 10
616 00 Brno
Obor/Odbor/Laboratoř/Specializované pracoviště:
Laboratoř mikrosenzorů a nanotechnologií (LabSensNano)
Kontaktní osoba:
HUBÁLEK Jaromír, doc. Ing. Ph.D. (os. číslo: 3758), hubalek@feec.vutbr.cz, tel.: +420 54114 6195, 6194
Oblast výzkumu: Výzkum a vývoj chemických mikro/nanosenzorů a biosenzorů
Kontakt
HUBÁLEK Jaromír, doc. Ing. Ph.D. (os. číslo: 3758), hubalek@feec.vutbr.cz, tel.: +420 54114 6195, 6194
Laboratorní vybavení - přístroje
Tenkovrstvá i tlustovrstvá technologie, UV litografie, plasmatické leptání/stripování TESLA 214 VT, rukavicový box, standardně vybavená chemická laboratoř, EIS - Elektrochemická impedanční spektroskopie (Agilent 4284A, µAUTOLABIII/FRA2), Elektrochemická stanice, přístrojové pracoviště Agilent (multimetry, osciloscopy, generátory, zdroje s analyzátory), Lock-in zesilovač, hrotové testovací zařízení Cascade M150, Analyzátor čipů Keithley 4200, SEM - Elektronový rastrovací mikroskop Mira II LMU (ultravakuum - rozlišení 1,5 nm, nízké vakuum - rozlišení 3 nm) + energiová a vlnová difrakční prvková analýza (EDS a WDS), poteciostat µAUTOLABIII/FRA2
Laboratorní vybavení - software
Draw Beam - elektronová litografie v blízkém poli na mikroskopu Tescan MIRA II LMU, SolidEdge - kreslení 3D součástek a systémů, LabView, Matlab, SW pro programování mikrokontrolérů, CoventorWare pro MEMS
Nabídka služeb
Analýza povrchu rastrovací elektronovou mikroskopií (SEM)
Energiová a vlnová difrakční prvková analýza (EDS a WDS)
Charakterizace polovodičů
Testování čipů
Elektrochemická impedanční spektroskopie - charakterizace vodivostních čidel
Charakterizace elektrochemických elektrod
Metody měření s chemickými senzory, přístroje pro měření
Technologické a konstrukční řešení chemických senzorů a senzorů plynů, návrh planárních mikroelektrod, tenké membrány, nanoporézní membrány
Senzorické systémy (i bezdrátové) pro monitorování prostředí (vnitřní i venkovní) - fyzikální i chemické senzory
Funcionalizace povrchů mikroelektrod anorganickými nanočásticemi nebo biomolekulami
Mikrofluidní systémy s detektory
Realizace přístrojů pro fluorescenční senzory
Plasmatické leptání/stripování
UV litografie
Klíčová slova
amperometrie, voltametrie, EIS, impedanční spektroskopie, senzor, senzory plynů, biosenzory, chemosenzory, oxidové polovodiče, mikroelektrody, nanoelektrody, MEMS, mikrokanálky, mikrofluidní systémy, litografie, elektronické systémy, mikrokontroléry, fluorescenční senzory, SEM, WDS, EDS, spektroskopie, potenciostat
Oblast výzkumu: Výzkum a vývoj nanotechnologií pro součástky
Kontakt
HUBÁLEK Jaromír, doc. Ing. Ph.D. (os. číslo: 3758), hubalek@feec.vutbr.cz, tel.: +420 54114 6195, 6194
Laboratorní vybavení - přístroje
Tenkovrstvá i tlustovrstvá technologie, rukavicový box, standardně vybavená chemická laboratoř, SEM - Elektronový rastrovací mikroskop Mira II LMU (ultravakuum - rozlišení 1,5 nm, nízké vakuum - rozlišení 3 nm) + energiová a vlnová difrakční prvková analýza (EDS a WDS), speciální zařízení pro lokální modifikaci povrchů nanostrukturami
Laboratorní vybavení - software
Draw Beam - elektronová litografie v blízkém poli na mikroskopu Tescan MIRA II LMU, SolidEdge - kreslení 3D součástek a systémů, Matlab
Nabídka služeb
Analýza povrchu rastrovací elektronovou mikroskopií (SEM)
Energiová a vlnová difrakční prvková analýza (EDS a WDS)
Nanolitografie v blízkém poli
Syntéza nanokrystalických materiálů – paramagnetické nanočástice, kvantové tečky, nanokrystaly polovodivých oxidů kovů
Spin-coating a spray-coating koloidních a organických roztoků
Nanostrukturování povrchů pomocí galvanické depozice a anodické oxidace pro nanoprvky a nanosoučástky
Techniky vytváření vertikálně uspořádaných nanodrátů nebo nanotrubic z kovů i jejich oxidů
Nanoporézní membrány a masky
Zvyšování povrchů mikroelektrod pomocí nanostruktur
Klíčová slova
nanokrystaly, nanočástice, nanodrátky, nanosloupky, nanotyčinky, nanotečky, nanotrubice, SEM, EDS, WDS, nanolitografie, modifikace povrchů, funcionalizace povrchů, spin-coating, spray-coating, nanomembrány, nanopóry

<<< Zpět na seznam